面板：8 mm厚安全鋼化玻璃（標(biāo)準(zhǔn)配置）或 10 mm厚度聚碳酸酯 (可供選擇)

尺寸：1435mm(L) x 839mm(H)

硬鋁合金材質(zhì)或聚甲醛材料 (可供選擇)

口徑 220 mm, O型圈密封

材料：丁基橡膠

厚度：0.4 mm 或 0.8mm(可供選擇)

檢漏依據(jù) ISO 10648-2 ：1994 / EJ/T 1096-1999《密封箱室——第二部分：密封性分級以及相關(guān)的檢驗(yàn)方法》中的含氧法和壓力變化法對箱體進(jìn)行檢測，按照一級密封性< 0.001 vol%/h的標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行最終驗(yàn)收測試。

自動去除 H2O 和 O2

單凈化柱系統(tǒng)，自動再生（可選GP200雙凈化柱）

密閉的氣體循環(huán)管路

工作氣：N2、Ar 、He（純度≥99.999%）

再生氣：H2占5%—10%，其余的為工作氣（純度≥99.999%）

規(guī)格：旋片真空泵,  配帶油霧過濾器, 帶氣鎮(zhèn)控制

流量：12 m3/h (7 cfm), 雙基片,真空度< 2 x 10-3 mbar  或干泵(可供選擇)

無油高速風(fēng)機(jī)

風(fēng)量：80 m3/h

檢漏依據(jù) ISO 10648-2 ：1994 / EJ/T 1096-1999《密封箱室——第二部分：密封性分級以及相關(guān)的檢驗(yàn)方法》中的含氧法和壓力變化法對箱體進(jìn)行檢測，按照1級密封性< 0.001 vol%/h的標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行最終驗(yàn)收測試。

600mm（L） x 800mm（D） x 870mm（H）

不銹鋼 type 304 (1.4301), 厚度 3 mm

< 1 x 10-2 mbar    

不銹鋼 type 304 (1.4301), 厚度 2 mm

< 1 x 10-2 mbar

205 mm（L） x 80 mm（W） x 60 mm（H）

0-1000 ppm

GE oxy.IQ? Oxygen Transmitter

205 mm（L） x 80 mm（W） x 60 mm（H）

0-500 ppm

GE VeriDri? Dew-Point Transmitter

材料: 不銹鋼1.4301 (SUS type 304), 厚度 3 mm

內(nèi)部尺寸: 220mm(Φ) x 450mm(H)

優(yōu)質(zhì)活性炭

獨(dú)立控制系統(tǒng)，集成在箱體側(cè)板，溫度-35℃，容積18L或者32L可選

主體304不銹鋼管材，5層可變隔層

R404環(huán)保型制冷劑，原裝進(jìn)口

ISO9001認(rèn)證、CE認(rèn)證、UL認(rèn)證